Difrakce vysokoenergetických elektronů na pastvu výskyt ( odraz vysoká energie elektronová difrakce v angličtině nebo RHEED ) je experimentální techniku umožňující určit krystalové struktury povrchu a ke kontrole na místě vývoj povrchu během růstu.
Geometrie RHEED je relativně jednoduchá, skládá se z elektronového paprsku, z určené energie, směrované na povrch vzorku s malým úhlem dopadu, aby se omezila hloubka průniku elektronů a byla pouze citlivá k prvním atomovým rovinám.
Elektrony rozptýlené povrchem jsou detekovány fluorescenční clonou kolmou na rovinu vzorku. Analýzu polohy difrakčních skvrn lze provést v rámci kinematické teorie ( elastická difúze elektronů povrchem, žádná vícenásobná difrakce). V praxi elektrony dosahují dopadu několika stupňů (1 až 4 °). Difrakční elektrony fluoreskují na obrazovku a obraz lze poté zaznamenat pomocí CCD kamery .
Difrakční obrazce lze předvídat nebo interpretovat určením průsečíku Ewaldovy koule a vzájemné mřížky povrchu vzorku, sestávající z tyčí kolmých na difrakční rovinu.
Pokud je na povrchu vzorku drsnost, například ostrůvky, difrakce dopadajícího paprsku již neprobíhá v odrazu, ale v přenosu. Drsnost způsobí, že elektrony projdou ostrovy hmoty a vytvoří vzor skvrn.